愛普生晶振通過QMEMS搶奪硅振蕩器市場

硅振蕩器（MEMS）采用集成電路工藝制造出機械振動器件，可以被集成在硅芯片中從而大幅度降低成本，對傳統晶體振蕩器行業構成了一定沖擊。作為晶振晶體行業領頭羊，愛普生公司并并不畏懼價格戰。傳統的石英晶體需要切割和傾斜(beveling)加工，但體積可以做的更小，溫度漂移的適應性好，采用印刷技術的成本和功耗可以更低。針對硅振蕩器的固有曲線，愛普生選擇在兩個方面迎接挑戰：1、提高和拉開傳統的石英晶振相對硅振在溫度特性等方面的品質優勢；2、通過技術創新，大幅度降低產品價格。而這兩個方向的努力都終落實在EPSON獨特的QMEMS技術上。
 

已經占據23%晶振市場份額日本愛普生晶振（Epson Toyocom）公司采用類似半導體光刻工藝制造一種石英MEMS(QMEMS)，并保持在硅MEMS振蕩器市場的前列地位。

QMEMS的規格說明書顯示出與競爭的MEMS振蕩器（SiTime、Discera、Silicon Clock和Mobius微系統等公司的產品）相比性能差不多或更好。

“傳統來說MEMS需要硅工藝，所以他們叫我們的產品QMEMS，因為我們采用石英，而不是硅，”愛普生晶振的Debbie Word表示，“我們用石英晶圓在類似半導體廠的工廠里面生產，采用光照、蝕刻、鍍膜和犧牲層去除的方法 - 與硅MEMS芯片的工藝差不多，但我們使用的是石英材料。”

壓電石英晶體已經成為標準，一旦在其中通過一個小電流，就可以產生設定頻率的振蕩。該振蕩頻率不受封裝內的溫度改變的影響。石英是地球上資源豐富的壓電材料，通過精密的切割和傾斜，可以讓石英振蕩器得到需要的頻率。

幾年前，愛普生采用光刻工藝生產了厚度在2毫米下的音叉共鳴器，這個是傳統的切割和傾斜工藝不能達到的。這個工藝用在了QMEMS振蕩器上，從而在規格上可以與硅MEMS振蕩器競爭。

市場分析報告顯示對于OEM來說不會有什么改變。“MEMS是可行的另一種非傳統的方案，因為可以在更低的價格提供增加的功能，”MEMS分析師Roger Grace表示，“工程師在尋找優秀的可能的方案，如果QMEMS定時器芯片可以在*低的價格提供他們需要的功能，那該產品就會取得成功，不論采用何種生產工藝。”

愛普生晶振還計劃采用QMEMS的工藝生產大氣壓力傳感器，并且已經采用該工藝生產了超?。?* 2mm）陀螺儀，用于數碼相機的圖像穩定防抖。